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半導體封裝真空等離子清洗機Plasma清洗設備

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

更新時間:2025-07-14 01:10:46瀏覽次數(shù):9次

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VPS-RF120 真空等離子清洗設備是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機,處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內(nèi)部無電極。

VPS-RF120 真空等離子清洗設備簡介:

VPS-RF120真空等離子清洗設備主要由真空腔體、高頻等離子電源、真空產(chǎn)生及測量系統(tǒng)、工藝氣體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是利用真空泵將工作室進行抽真空到一定的真空度后,通入工藝氣體,在高頻發(fā)生器作用下,在陽極和陰極之間形成高頻交變電場,將氣體進行電離,形成等離子體。當氣體到達等離子狀態(tài)時,氣態(tài)分子會裂變成許多高度活躍的粒子。等離子清洗的機理正是依靠處于“等離子態(tài)"的物質(zhì)的“活化作用",達到去除物體表面污漬或改善表面活性的目的。


   

VPS-RF120 真空等離子清洗設備


VPS-RF120 真空等離子清洗設備特點:歐美放電技術(shù),專業(yè)型放電結(jié)構(gòu),科學仿真等離子體分布均勻,處理效果均勻

產(chǎn)品應用:去除表面有機物、表面油污清洗、提高表面親水性、改善表面粘接性、提高表面附著力、提高綁定性能

       

產(chǎn)品參數(shù):

型號

VPS-RF120

等離子頻率

13.56MHz 自動阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

真空泵

油泵/干泵(可選)

功率

0-1000W可調(diào)

腔體材質(zhì)

進口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選)

腔體尺寸

500(W)*500(D)*490(H)mm

腔體容積

120L

單層有效處理面積

450mm(W)*430mm(D)

氣路數(shù)量

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制)

處理層數(shù)

8層(可定制)

控制方式

PLC+觸摸屏

電源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

950mm(L)×1100mm(W) ×1800 mm(H)


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