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VF1120數(shù)字型氣體

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產(chǎn)品簡介

數(shù)字型氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)量程:5sccm～300oslm(N2當(dāng)量)精度:±1

詳細(xì)介紹

數(shù)字型氣體質(zhì)量流量控制器

技術(shù)參數(shù)

量程: 5sccm～300oslm(N2當(dāng)量)

精度: ±1.0%F.S

量程比: 50:1(流量控制器）100:1(流量計）

重復(fù)精度: ±0.2%F.S

線性精度: ±0.5%F.S

環(huán)境溫度: 5～45℃

溫度系數(shù): <±0.1%F.S/℃

壓力系數(shù): <±0.5%bar

泄漏率: <2*10^-8atm.ml/S

耐壓: 3MPa（流量小于30slm可選6MPa)

供電: 24vdc或±15vdc

模擬信號: 0～5vdc或4～20mA

數(shù)字信號: 液晶顯示RS232RS、485(Modbus-RTU)

連接方式: 卡套式連接或VCR連接

(連接尺寸根據(jù)客戶需求而定)

關(guān)鍵詞：控制器

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