小流量氣體流量計（MassFlowController）是基于業(yè)內(nèi)優(yōu)良的微機(jī)電（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。