緊湊型質(zhì)量流量控制器（MassFlowController）是基于業(yè)內(nèi)的流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開發(fā)的一款更緊湊的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。