涂裝廢氣、烤箱廢氣所產生的有機物在等離子體光催化中的氧化降解主要有以下幾個過程：
⊙ 高能電子的作用下了產生氧化性的自由基O、OH、HO2。
⊙ 有機物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子鍵斷裂形成小碎片基團或原子。
⊙ O、OH、HO2 與激發(fā)原子有機物分子、破碎的分子基團、自由基等一系列自由基反應。
等離子體中的離子、電子、激發(fā)態(tài)原子、分子及自由基都是極活潑的反應性物種，使通常條件下難以進行或速度很慢的反應變得快速，它們再進一步與污染物分子、離子反應,從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。
另外，由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發(fā)粒子向下躍遷能產生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，就會激發(fā)半導體內的電子，使電子從價帶躍遷至導帶，形成具有很強活性的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。光生空穴具有很強的獲得電子能力，可與催化劑表面吸附的O2 和H2O發(fā)生反應生成羥基自由基，從而進一步氧化污染物。由于等離子體放電光催化過程有大量高能電子沖擊、活性粒子、紫外線輻射等綜合因素的協同作用，因而可以更快速有效地分解空氣中有害物質和滅菌除臭。
等離子體光催化它集合了等離子和光催化的優(yōu)點，優(yōu)勢互補，而且兩者之間能夠起到協同作用，克服雙方存在的缺點，相互促進,，因而對空氣污染物具有優(yōu)良的去除效果。等離子體光催化技術具有凈化效率高、能耗低、適應性廣、光催化劑自動活化等優(yōu)點，在去除有機廢氣中顯示非常好的效果。
