臭氧發(fā)生器工作原理是當(dāng)含氧氣的氣體通過兩個(gè)電極間的放電間隙時(shí)，部分氧氣分子(O2)會(huì)被轉(zhuǎn)化為臭氧(O3)從而實(shí)現(xiàn)臭氧制備。當(dāng)高壓電極上帶有變化的高電壓時(shí)，電極之間的放電間隙處會(huì)產(chǎn)生微放電，氧氣分子被分解為自由態(tài)的氧原子O，部分自由態(tài)的氧原子與未分解的氧氣分子重新結(jié)合生成臭氧(O3)即 O+O2=O3，被稱為“電暈放電”或“無聲放電”。事實(shí)上施加在電極上的電能只有一部分用于制備臭氧，制備過程中同時(shí)還會(huì)產(chǎn)生熱量，需要通過冷卻水來有效冷卻臭氧發(fā)生模塊。臭氧制備過程受原料氣的質(zhì)量和冷卻水的溫度影響比較顯著，溫度越低，臭氧制備效率越高。