BROOKS真空計(jì)CMCAP1112BR/CMCAT1132BR

LAM796-055344-005

特點(diǎn)

• 流量范圍：3 slpm （去離子水蒸汽）

• 具有超高流量精度的直接水蒸汽測量

• 能直接連接到廠房去離子水供應(yīng)系統(tǒng)

• 在較低溫度下可操作（非過熱狀態(tài)）

• 沖刷和排水的優(yōu)化設(shè)計(jì)

• EtherCAT數(shù)字通訊

• Brooks Expert Support Tool (BEST)圖形用戶界面

優(yōu)勢

• 采用了成熟可靠的熱式質(zhì)量流量測量和控制技術(shù)

• 適用于各種FAB去離子水供水的壓力

• 接液件耐腐蝕性能增強(qiáng)

• 確保更清潔的操作

• 可匹配各種設(shè)備的模擬或數(shù)字通訊接口

• 直接用戶界面可增強(qiáng)數(shù)據(jù)收集或故障排查

應(yīng)用

• 硅材料半導(dǎo)體金屬刻蝕后段工藝

• 硅材料半導(dǎo)體金屬剝離工藝

• 在負(fù)大氣壓的環(huán)境中超高純加濕

LAM797-800733-100半導(dǎo)體機(jī)臺配件MFC649B-32597

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

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Coastal Instruments 成立于1980年，是國內(nèi)專業(yè)的流量計(jì)服務(wù)商。致力于進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)、壓力傳感器等壓力測量器件的校準(zhǔn)、維修及銷售服務(wù)。其技術(shù)*、高可靠性及誠信使其成為行業(yè)的，是專業(yè)的MFC技術(shù)服務(wù)商。

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司 專門經(jīng)營進(jìn)口氣體質(zhì)量流量計(jì)銷售，全套校準(zhǔn)，一年質(zhì)保期。

本公司專業(yè)銷售質(zhì)量流量計(jì)近40年，具有豐富的銷售和售后服務(wù)經(jīng)驗(yàn)，我們有專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì)和專業(yè)工程師對產(chǎn)品進(jìn)行跟蹤服務(wù)。
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美國BROOKS布魯克斯5850E進(jìn)口氣體流量計(jì)

BROOKS 5850E  5851E  SLA5850S SLA5851S SLA5853S 5850S 5851S 5853S GF120CXXC GF125CXXC GF100CXXC

HORIBA IV-2410AV-03/3030-10059噴射閥

七星華創(chuàng)流量計(jì)D07-7B氬氣100sccm***深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

Fil-tech G8136P/1美國FIL-TECH 離子規(guī)真空規(guī)

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AMAT0190-51152噴射閥HORIBAIV-2401AV-02h

UE壓力開關(guān) E48W-H76 E48W-H77 PV48W-17 P36W-17/04-716704-01

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