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FRG-700/702PiraniInvertedMagnetronGauge安捷倫FRG-700規(guī)為全量程規(guī),在緊湊且經(jīng)濟的規(guī)管內(nèi)集成兩種測量技術(shù),以測量從5x10-9mbar至大氣壓(3.8x10-9Torr至大氣壓)的工作壓力和極限壓力
FRG-700/702 Pirani Inverted Magnetron Gauge
安捷倫 FRG-700 規(guī)為全量程規(guī),在緊湊且經(jīng)濟的規(guī)管內(nèi)集成兩種測量技術(shù),以測量從 5 x 10-9mbar 至大氣壓(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓)的工作壓力和極限壓力。帶有一個對數(shù)模擬輸出信號的單一緊湊規(guī)管可大幅降低安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。其優(yōu)點在于降低成本并顯著降低對寶貴空間的要求。FRG-702 為 FRG-700 的全金屬型號,內(nèi)含金屬密封的真空密封穿導(dǎo)件。該規(guī)管可以在比 FRG-700(法蘭處 55℃)更高的溫度(法蘭處 150℃)下工作。
技術(shù)指標(biāo)
FRG-700/702 全量程復(fù)合規(guī) | ||||||
測量范圍 | 5 x 10-9 到 1000 mbar(3.8 x 10-9 到 760 Torr) | |||||
準(zhǔn)確度 | ± 30 % 讀數(shù),典型值 | |||||
重復(fù)性 | ± 5% 讀數(shù),典型值 | |||||
安裝方向 | 任意 | |||||
允許溫度(周圍環(huán)境) | 操作存儲 | 烘烤溫度* | (皮拉尼) | 燈絲溫度 | ||
5 到 55 °C | –40 到 + 65 °C | 150°C | 120 °C | |||
電源電壓 | 在規(guī)管處 | 脈動 | 能耗 | |||
15 到 30 VDC | ≤ 1 Vpp | ≤ 2 W | ||||
輸出信號(測量信號) | 電壓范圍 | 測量范圍 | ||||
0 到 10.5 V | 1.82 到 8.6 V | |||||
電壓與壓力關(guān)系 | 0.6 V/十進制, 對數(shù)的 | |||||
錯誤信號 | < 0.5 V(無輸入),> 9.5 V(皮拉尼傳感器,燈絲斷裂) | |||||
最小負(fù)載阻抗 | 10 kΩ,短路保護 | |||||
響應(yīng)時間 | < 10 ms(當(dāng)壓力大于 10-6 mbar 時),≈ 1000 ms(當(dāng)壓力等于 10-8 mbar 時) | |||||
識別規(guī)管 | 85 kΩ,參照常見供應(yīng) | |||||
狀態(tài) | 僅皮拉尼規(guī)模式 | 復(fù)合皮拉尼/冷陰極模式 | LED | |||
0 V(低) | 15 V到 30(高) | 綠色 LED 亮即表示高電壓開 | ||||
電氣連接 | FCC 68 應(yīng)用連接器,8芯,內(nèi)孔式配件 | |||||
傳感器電纜 | 8 芯加屏蔽 | |||||
電纜長度 | ≤ 50 m | |||||
工作電壓/電流 | ≤ 3.3 kV/≤ 500 A | |||||
暴露于真空中的材料 | SS,Al2O3,FPM75,Mo,Ni,Au,W | |||||
內(nèi)部體積 | ≈ 20 cm3 | |||||
重量 | DN 25 ISO-KF ≈ 700 g,DN 40 CF ≈ 980 g | |||||
標(biāo)準(zhǔn) | EN 61000-6-2,EN 61000-6-3,EN 61010-1 |
外形圖
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