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FRG-700/702 Pirani Inverted真空測量

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品       牌

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更新時間:2024-12-17 22:40:34瀏覽次數(shù):65次

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產(chǎn)品簡介

FRG-700/702PiraniInvertedMagnetronGauge安捷倫FRG-700規(guī)為全量程規(guī),在緊湊且經(jīng)濟的規(guī)管內(nèi)集成兩種測量技術(shù),以測量從5x10-9mbar至大氣壓(3.8x10-9Torr至大氣壓)的工作壓力和極限壓力

詳細(xì)介紹

FRG-700/702 Pirani Inverted Magnetron Gauge

 

安捷倫 FRG-700 規(guī)為全量程規(guī),在緊湊且經(jīng)濟的規(guī)管內(nèi)集成兩種測量技術(shù),以測量從 5 x 10-9mbar 至大氣壓(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓)的工作壓力和極限壓力。帶有一個對數(shù)模擬輸出信號的單一緊湊規(guī)管可大幅降低安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。其優(yōu)點在于降低成本并顯著降低對寶貴空間的要求。FRG-702 為 FRG-700 的全金屬型號,內(nèi)含金屬密封的真空密封穿導(dǎo)件。該規(guī)管可以在比 FRG-700(法蘭處 55℃)更高的溫度(法蘭處 150℃)下工作。

 

 

 

 

 

特性

 

  • 兩種測量技術(shù)集于一臺緊湊、一體化、經(jīng)濟的封裝中
  • 測量過程和極限壓力從 5 x 10-9 mbar 至大氣壓(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓)
  • 一體化、緊湊的規(guī)管帶有對數(shù)模擬輸出,可大幅降低安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性
  • 適合監(jiān)控高真空壓力、蒸鍍和濺鍍系統(tǒng)的極限壓力,以及中高真空范圍內(nèi)的普通真空測量和控制
  • 寬測量范圍,從 5 × 10-9 mbar 至大氣壓
  • 燈絲不易毀壞
  • 優(yōu)異的啟動性能
  • 易于清潔

 

 

 

性能指標(biāo)

 

技術(shù)指標(biāo) 

FRG-700/702 全量程復(fù)合規(guī)

測量范圍

5 x 10-9  1000 mbar3.8 x 10-9  760 Torr

準(zhǔn)確度

± 30 % 讀數(shù),典型值

重復(fù)性

± 5% 讀數(shù),典型值

安裝方向

任意

允許溫度(周圍環(huán)境)

操作存儲

烘烤溫度*

(皮拉尼)

燈絲溫度

5 55 °C

–40 + 65 °C

150°C

120 °C

電源電壓

在規(guī)管處

脈動

能耗

15 30 VDC

≤ 1 Vpp

≤ 2 W

輸出信號(測量信號)

電壓范圍

測量范圍

0 10.5 V

1.82 8.6 V

電壓與壓力關(guān)系

0.6 V/十進制, 對數(shù)的

錯誤信號

< 0.5 V(無輸入),> 9.5 V(皮拉尼傳感器,燈絲斷裂)

最小負(fù)載阻抗

10 kΩ,短路保護

響應(yīng)時間

< 10 ms(當(dāng)壓力大于 10-6 mbar 時),≈ 1000 ms(當(dāng)壓力等于 10-8 mbar 時)

識別規(guī)管

85 kΩ,參照常見供應(yīng)

狀態(tài)

僅皮拉尼規(guī)模式

復(fù)合皮拉尼/冷陰極模式

LED

0 V(低)

15 V 30(高)

綠色 LED 亮即表示高電壓開

電氣連接

FCC 68 應(yīng)用連接器,8芯,內(nèi)孔式配件

傳感器電纜

8 芯加屏蔽

電纜長度

≤ 50 m

工作電壓/電流

≤ 3.3 kV/≤ 500 A

暴露于真空中的材料

SSAl2O3,FPM75Mo,Ni,Au,W

內(nèi)部體積

≈ 20 cm3

重量

DN 25 ISO-KF ≈ 700 g,DN 40 CF ≈ 980 g

標(biāo)準(zhǔn)

EN 61000-6-2,EN 61000-6-3,EN 61010-1

 

 

 

 

 

外形圖

 

 

 

 

 

 

 

關(guān)鍵詞:傳感器
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