計(jì)源（上海）實(shí)業(yè)有限公司
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所 在 地上海市
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ModelM2030VM2030A流量范圍(N2)5sccm~30000sccm5sccm~30000sccm相應(yīng)時(shí)間2sec2sec精準(zhǔn)度1%FS1%FS重復(fù)精度0
| Model | M2030V | M2030A |
| 流量范圍(N2) | 5sccm ~ 30000sccm | 5sccm ~ 30000sccm |
| 相應(yīng)時(shí)間 | ≤2 sec | ≤2 sec |
| 精準(zhǔn)度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
| 重復(fù)精度 | ≤±0.25% FS | ≤±0.25% FS |
| 輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
| 耐壓 | ≤90 bar | ≤90 bar |
| 工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 使用范圍 | 2 ~ 99% | 2 ~ 99% |
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