上海納騰儀器有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)F3
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間：2025-01-12 12:46:35瀏覽次數(shù)：86次
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KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術(shù)實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的精確測(cè)量，其測(cè)量范圍從nm-mm，可實(shí)現(xiàn)如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導(dǎo)體膜、有機(jī)薄膜、導(dǎo)電透明薄膜等膜厚精確測(cè)量，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產(chǎn)品，可測(cè)量從幾mm到450mm大小的樣品，薄膜厚度測(cè)量范圍1nm到mm級(jí)。F3-sX可測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電介質(zhì)層的厚度，可測(cè)厚度達(dá)3毫米。F3-sX系列配置10微米的測(cè)試光斑直徑，因而可以快速容易的測(cè)量其他膜厚測(cè)試儀器不能測(cè)量的材料膜層。
測(cè)量原理-光譜反射
光譜橢圓偏振儀 (SE) 和光譜反射儀 (SR) 都是利用分析反射光確定電介質(zhì)，半導(dǎo)體，和金屬薄膜的厚度和 折射率。 兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光, 而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光，它忽略偏振效應(yīng) （絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱）。 因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備，光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析。光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間，兩種技術(shù)都可用。 而且具有快速，簡(jiǎn)便，成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇。
一、主要功能
主要應(yīng)用
測(cè)量較厚薄膜厚度、折射率、反射率和穿透率：
技術(shù)能力
光譜波長(zhǎng)范圍：380-1580 nm
厚度測(cè)量范圍：10nm-3mm
測(cè)量n&k最小厚度：50 nm
準(zhǔn)確度：取較大值，50nm或0.2%
精度：5nm
穩(wěn)定性: 5nm
光斑大小：10µm
樣品尺寸：直徑從1mm到300mm或更大
二、應(yīng)用
半導(dǎo)體薄膜：光刻膠、工藝薄膜、介電材料
液晶顯示：OLED、玻璃厚度、ITO
光學(xué)鍍膜：硬涂層厚度、減反涂層
高分子薄膜：PI、PC
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