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上海納騰儀器有限公司


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D300 經(jīng)濟(jì)型高精度臺階儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號D300

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2025-01-12 11:57:51瀏覽次數(shù):81次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:166條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。





二、 功能

設(shè)備特點(diǎn)

  • 臺階高度:幾納米至1000μm
  • 低觸力:0.5至15mg
  • 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
  • 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
  • 緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀

主要應(yīng)用

  • 臺階高度:2D臺階高度
  • 紋理:2D粗糙度和波紋度
  • 形式:2D翹曲和形狀
  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

應(yīng)用領(lǐng)域


  • 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
  • SIMS:二次離子質(zhì)譜
  • LED:發(fā)光二極管
  • 太陽能
  • MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)
  • 汽車
  • 醫(yī)療設(shè)備



三、應(yīng)用案例

臺階高度

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個(gè)納米到1000μm的2D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料。




紋理:粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-300 測量 2D 紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。




外形:翹曲和形狀

Alpha-Step D-300 可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step 還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。




應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-300 能夠測量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。



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