愛發(fā)科ULVAC真空泵
愛發(fā)科ULVAC集團(tuán)，是面向各個行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設(shè)備、真空儀器、材料、分析設(shè)備，為解決客戶難題，提升客戶企業(yè)價值，提供多種多樣的解決方案的企業(yè)集團(tuán)。
在愛發(fā)科ULVAC集團(tuán)中，Components Business Unit是負(fù)責(zé)開發(fā)、制造、銷售構(gòu)成綜合性真空設(shè)備多種多樣的真空配套產(chǎn)品的企業(yè)團(tuán)體。真空設(shè)備的性能，是由追求的真空技術(shù)的各種真空配套機(jī)器來支撐的。
主要產(chǎn)品有：
真空泵(低?中真空)
真空泵(高真空)
真空計
氣體分析儀（工藝氣體監(jiān)測儀
檢漏儀
高速光譜橢偏儀
水晶振蕩式成膜控制器
真空閥
DC電源
DC脈沖電源
MF電源
愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計的簡單結(jié)構(gòu)的泵。
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
愛發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR 系列
干泵HR/UR系列，根據(jù)的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了在CVD，蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合最多可節(jié)省約88%的電力。另外，提高了維護(hù)性和降低了噪音，全部型號CE對應(yīng)可能（可選）。
EB槍?EB電源
真空搬送機(jī)器人
分子間相互作用定量QCM設(shè)備
微量精密攪拌器
小型蒸發(fā)設(shè)備
低溫設(shè)備(CRYO)
熱處理?熱物性評估裝置
愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵CR系列VerB是獲得國際標(biāo)準(zhǔn)（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內(nèi)不使用真空油，因轉(zhuǎn)子和汽缸是不接觸的，可長時間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。
DIS-501
ULVAC
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
?可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
?低振動低噪音。
?維護(hù)周期可通過計時表控制。
上海煜柯銷售愛發(fā)科ULVAC真空泵及真空配套產(chǎn)品，可以提供成套真空系統(tǒng)解決方案。
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