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wafer石英等離子清洗機(jī)改性

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳深光達(dá)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2025/7/3 3:05:24
  • 訪問次數(shù)19
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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術(shù)和相關(guān)裝備的研發(fā)生產(chǎn),核心技術(shù)源自歐美二十年等離子體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司核心團(tuán)隊(duì)來自中科院等離子體物理研究所、德國(guó)Diener、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京大學(xué)等國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu),其開發(fā)的等離子清洗裝備已廣泛應(yīng)用于高校、半導(dǎo)體、汽車、電子行業(yè)、3C行業(yè)、印刷行業(yè)生物等行業(yè)域。深光達(dá)科技成立至已為清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、比亞迪、蘭州大學(xué)、深圳大學(xué)、香港大學(xué)、提供過等離子處理設(shè)備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開發(fā)創(chuàng)新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測(cè)整體解決方案。深圳深光達(dá)科技有限公司深耕等離子技術(shù)域十余載,表面處理解決方案服務(wù)商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設(shè)備,精準(zhǔn)清洗與活化,設(shè)備連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性達(dá)99.6%以上,通過ISO 9001/14001雙體系認(rèn)證。其低溫真空等離子去膠機(jī)**在半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)每小時(shí)300片晶圓的量產(chǎn)處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對(duì)汽車內(nèi)飾、醫(yī)療導(dǎo)管等復(fù)雜曲面,**常壓旋轉(zhuǎn)噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理,表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上。現(xiàn)已在富士康、比亞迪等200+企業(yè)產(chǎn)線中實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)不間斷作業(yè),設(shè)備MTBF突破8000小時(shí),以航空品質(zhì)重新定義工業(yè)清洗標(biāo)準(zhǔn)。主營(yíng)產(chǎn)品有等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī),實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),反應(yīng)離子刻蝕機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

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VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對(duì)實(shí)驗(yàn)室需要專門開發(fā)的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī),處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內(nèi)部無電極。
wafer石英等離子清洗機(jī)改性 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對(duì)實(shí)驗(yàn)室需要專門開發(fā)的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī),處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內(nèi)部無電極。即放電能量從處理器外部施加,可以避免電極的腐蝕和反應(yīng)物在極板沉積的問題。


VPS-QZ05石英真空等離子處理儀應(yīng)用:PDMS鍵合、引入特定官能團(tuán)、等離子灰化、表面親疏水改性、提高粘接性

VPS-QZ05石英真空等離子處理儀特點(diǎn)處理過程中不會(huì)引入污染物、操作簡(jiǎn)單、適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用


VPS-QZ05石英真空等離子處理儀


產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)

VPS-QZ05

頻率

13. 56 MHz

功率

0-200W連續(xù)可調(diào)

腔體材質(zhì)

優(yōu)質(zhì)石英

腔體容積

5L

腔體尺寸

Φ150×290(D)mm

氣體流量控制器

MFC 質(zhì)量流量控制器

氣路數(shù)量

2 路氣體,常用O2、Ar2、N2,H2、等(腐蝕性氣體需定制)

真空測(cè)定系統(tǒng)

皮拉尼真空硅管

極限真空度

1Pa

控制方式

PLC+4.3寸觸摸屏

真空泵

油泵/干泵(選配)

電源供應(yīng)

AC220V/50Hz

外形尺寸

550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H)



關(guān)鍵詞:控制器 真空泵
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