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晶圓等離子清洗機石英等離子清洗機 刻蝕

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳深光達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2025/6/27 12:13:53
  • 訪問次數(shù)26
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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術和相關裝備的研發(fā)生產,核心技術源自歐美二十年等離子體行業(yè)經驗。公司核心團隊來自中科院等離子體物理研究所、德國Diener、中國科學技術大學、北京大學等國內科研機構,其開發(fā)的等離子清洗裝備已廣泛應用于高校、半導體、汽車、電子行業(yè)、3C行業(yè)、印刷行業(yè)生物等行業(yè)域。深光達科技成立至已為清華大學、西安交通大學、比亞迪、蘭州大學、深圳大學、香港大學、提供過等離子處理設備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開發(fā)創(chuàng)新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案。深圳深光達科技有限公司深耕等離子技術域十余載,表面處理解決方案服務商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設備,精準清洗與活化,設備連續(xù)運行穩(wěn)定性達99.6%以上,通過ISO 9001/14001雙體系認證。其低溫真空等離子去膠機**在半導體封裝環(huán)節(jié)實現(xiàn)每小時300片晶圓的量產處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對汽車內飾、醫(yī)療導管等復雜曲面,**常壓旋轉噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理,表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上。現(xiàn)已在富士康、比亞迪等200+企業(yè)產線中實現(xiàn)7×24小時不間斷作業(yè),設備MTBF突破8000小時,以航空品質重新定義工業(yè)清洗標準。主營產品有等離子清洗機,等離子去膠機,實驗型真空等離子清洗機,真空等離子清洗機,低溫等離子清洗機,大氣等離子清洗機,等離子表面處理機,等離子刻蝕機,晶圓清洗機,反應離子刻蝕機,旋轉型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

等離子清洗機,等離子清洗器,實驗型真空等離子清洗機,真空等離子清洗機,低溫等離子清洗機,大氣等離子清洗機,等離子表面處理機,等離子刻蝕機,晶圓清洗機,旋轉型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀
VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機,處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內部無電極。
晶圓等離子清洗機石英等離子清洗機 刻蝕 產品信息

產品簡介

      VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機,處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內部無電極。即放電能量從處理器外部施加,可以避免電極的腐蝕和反應物在極板沉積的問題。


VPS-QZ05石英真空等離子處理儀應用:PDMS鍵合、引入特定官能團、等離子灰化、表面親疏水改性、提高粘接性

VPS-QZ05石英真空等離子處理儀特點處理過程中不會引入污染物、操作簡單、適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用


VPS-QZ05石英真空等離子處理儀


產品參數(shù)

型號

VPS-QZ05

頻率

13. 56 MHz

功率

0-200W連續(xù)可調

腔體材質

優(yōu)質石英

腔體容積

5L

腔體尺寸

Φ150×290(D)mm

氣體流量控制器

MFC 質量流量控制器

氣路數(shù)量

2 路氣體,常用O2、Ar2、N2,H2、等(腐蝕性氣體需定制)

真空測定系統(tǒng)

皮拉尼真空硅管

極限真空度

1Pa

控制方式

PLC+4.3寸觸摸屏

真空泵

油泵/干泵(選配)

電源供應

AC220V/50Hz

外形尺寸

550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H)



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