快速、準(zhǔn)確、智能
Map導(dǎo)航圖
一鍵式操作快速進(jìn)行2D、3D圖像自動拼接，可以依據(jù)樣品特性選擇按行列數(shù)、需要拼接長度或者設(shè) 置拼接起點和終點位置三種拼接模式，在低倍率下掃描樣品，生成Map導(dǎo)航圖，高倍率下可以快速 定位觀察位置，進(jìn)行3D形貌分析。讓您不在分析過程中丟失視野，即使倍率放大后，系統(tǒng)也會在宏 觀Map導(dǎo)航圖中顯示當(dāng)前視野的所在位置。
DMZ1000系列 顯微自動化系統(tǒng)：3D圖像采集
克服傳統(tǒng)顯微鏡視野和景深問題，能得到產(chǎn)品三維形貌并對其進(jìn)行3D數(shù)據(jù)分析。
DMZ1000系列 顯微自動化系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng) | 倍率范圍 | 150X—600X、1500X(可選） |
觀察模式 | 明場、暗場、混合光 可選配偏光、微分干涉、近紅外、熒光 | |
鏡頭級別 | 平場半復(fù)消色差明暗場物鏡 | |
鏡頭倍率 | 5X、10X、20X、50X(可選） | |
倍率切換 | 電動調(diào)節(jié) 可選配WDI自動對焦模塊 | |
電控系統(tǒng) | Z軸行程 | 90mm |
Z軸分辨率 | 0.1um | |
平臺行程 | 電動 100mm*100mm 可定制大尺寸平臺 | |
平臺承重 | 3kg | |
平臺規(guī)格 | 260mm*260mm | |
平臺分辨率 | 0.1um | |
相機(jī)系統(tǒng) | 有效像素 | 2/3 in，500萬像素，2464*2056 |
動態(tài)范圍 | 12 bit | |
視場范圍 | 3.52 mm~0.88 mm （最終視場范圍視選配物鏡而定） | |
軟件系統(tǒng) | 全景2D/3D采集功能 | |
導(dǎo)航圖采集、定位功能 | ||
剖線測量功能 | 測量長度、寬度、高度、角度等相關(guān)數(shù)據(jù) | |
平面測量功能 | 點距、線距、圓弧、角度、面積等相關(guān)數(shù)據(jù) | |
宏功能 | 多點位自動采集功能 | |
追溯分析 | 原文件追溯分析 | |
可選配Q-DTS數(shù)據(jù)互聯(lián)模塊 | ||
可定制軟件功能 | ||
圖片輸出格式 | JPG、BMP、PNG、Dimac等 | |
電腦系統(tǒng) | 專業(yè)級工控機(jī) | IPC-5120，32G內(nèi)存、256G SSD、1TB HDD |
DELL顯示器 | 27in 3840x2160（4K）亮度 350cd/m2 刷新率60Hz | |
光學(xué)系統(tǒng)
DMZ1000 D具有明場、暗場、MIX（混合光）、偏光等多種照明方式，可選配熒光、紅外、光譜共焦 等諸多光源，以適配不同應(yīng)用場景。
搭載了高性能、高數(shù)值孔徑（NA）物鏡，為顯微成像提供了光學(xué)系統(tǒng)。
專業(yè)級分析軟件
針對PCB行業(yè)的線寬、線距，盲孔的上下孔徑、深度、孔徑比等都有非常完善的自動量測工具。
針對光伏行業(yè)的外寬、內(nèi)寬、高度、高度比、體積、表面積、角度、剖面積都有非常完善的自動數(shù)據(jù)報告。
專業(yè)級分析軟件
DMZ1000 D搭載的DMZ-Pro專業(yè)分析軟件可實現(xiàn)對樣品的批量化采集、量測、分析。
技術(shù)參數(shù)
顯微系統(tǒng) | 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)矯正光學(xué)系統(tǒng)，可選配光譜共焦系統(tǒng) |
物鏡倍率 | 標(biāo)配5X、10X、20X 可選配2.5X、50X、100X | |
綜合放大倍率 | 標(biāo)配150X~600X （最終放大倍率視選配物鏡而定） | |
照明方式 | 標(biāo)配明場、暗場、混合光 可選配偏光、DIC | |
光源 | 標(biāo)配LED光源，設(shè)計壽命60000小時 可選配紅外、熒光 | |
運動系統(tǒng) | Z軸行程 | 標(biāo)配50mm，電動 |
平臺行程 | 標(biāo)配700*600 mm，電動 | |
平臺承重 | 30KG | |
X/Y重復(fù)精度 | ±1.7 μm | |
X/Y/Z光柵尺分辨率 | 0.1 μm | |
相機(jī)系統(tǒng) | 有效像素 | 2/3 in，500萬像素，2464*2056 |
動態(tài)范圍 | 12 bit | |
視場范圍 | 3.52 mm~0.88 mm （最終視場范圍視選配物鏡而定） | |
軟件系統(tǒng) | 全景2D/3D采集功能 | |
導(dǎo)航圖采集、定位功能 | ||
2D測量 | 點距、線距、圓弧、角度、面積等測量工具 | |
3D測量 | 長度、寬度、高度、角度、體積等測量工具 | |
DMZ-Pro配置有線寬、線距，盲孔上下孔徑、孔徑比等PCB專業(yè)量測工具 | ||
可選配Q-DTS數(shù)據(jù)互聯(lián)模塊 | ||
可定制軟件功能 | ||
圖片輸出格式 | JPG、BMP、PNG、DIMAC等 | |
