儀器用途：主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域，可對樣品進行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素燈、光纖照明，可以配電動物鏡轉(zhuǎn)盤、成像系統(tǒng)，可以對應(yīng)多種需求的系統(tǒng)顯微鏡。
規(guī)格參數(shù)： 儀器型號 YVM-200150CNC 量測行程?X.Y.Z 2000*1500*800mm（X.Y.Z） 光學測量系統(tǒng) ?CCD：2/3"（Gige LE）分辨率1280*1024*130萬像素 顯微鏡鏡頭：奧林巴斯MX-61 ? 物鏡：5X、10X、20X、50X、100X ? ? 顯示分辨率：0.0001mm 源興光學測量軟件 示值誤差 ??X、Y≤（4+L/200）um ,Z≤0.01mm 程控光源系統(tǒng) ?下光源：條形光源，亮度可進行調(diào)節(jié)表面光：鹵素燈和同軸光，亮度可進行調(diào)節(jié)。熒光照明。 裸機尺寸 2500*2500*2500mm 儀器凈重 5500KG 工作臺負載 80KG 儀器電源 220V（AC） 50HZ? 125W ?結(jié)構(gòu)形式 ?龍門橋式移動? ?操作方式 搖桿/鼠標 ?電源 ?220/110V???
